小型基板洗浄機「NAMIKI-ECCLEAR」 は直径2インチ未満の小型基板の洗浄・乾燥に特化した装置です。2インチ未満の小サイズ基板に対して高いレベルの洗浄・乾燥を可能とした世界初の装置となります。
これまで、直径2インチ以上の結晶が得られない新規材料基板やチップ化された基板などの小型基板に対する洗浄はディップ洗浄などに手法が限られていたため、高い清浄度の達成は困難でした。このため新規材料基板が2インチサイズとなるまで材料本来の性能を引き出すデバイスは作製不可能でした。
「NAMIKI-ECCLEAR」はこうした小型基板の洗浄に対し、LED向けサファイア基板の製造などで培われた独自の洗浄ノウハウに加え、新規に開発した小型基板専用の洗浄・乾燥機構を採用しました。これらにより「NAMIKI-ECCLEAR」は小型基板に対しても高い洗浄能力を発揮し、新規材料に関する開発、デバイス化を強力にサポートします。
なお、2017年9月末まで販売キャンペーン中につき無料お試し洗浄実施中です！
是非この機会に、ディップ洗浄との違いをご確認いただけると幸いです。
※福電資材株式会社は、「NAMIKI-ECCLEAR」の正規販売代理店です。
基板本来の表面を覆っていた砥粒が洗浄により除去できています。 ダメージが入りやすいGaNに対しても潜傷が形成されず、ダメージレス洗浄であることが確認されました。
CL・・・カソードルミネッセンス 試料に対し電子線を入射した際の発光。この光を分光することにより、結晶中の欠陥を観察することが可能です。
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