クリーニングウエハとは
＊ 半導体製造装置内 でのウエハ裏面が接触する場所をクリーニングする新しい材料です。 ＊ 半導体製造装置内で CW1000 を搬送する 事で チャックテーブル上のパーティクルを除去 します。 ＊ CW1000 は パーティクル除塵層を保有した シリコンウエハです。
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福電資材株式会社
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